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半导体行业-晶圆定位
    发布时间: 2023-09-12 13:25    

此方案使用了：上位控制器、伺服、视觉。

解决并排除了根据不同晶圆特征及振动的干扰因素，实现4目超高精度定位。

半导体行业-晶圆定位